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順利完成中國(guó)電子科技集團(tuán)某所砷化鎵中試工作

來源:Admin 發(fā)布時(shí)間:2021-3-23 15:41:534132次瀏覽
 

半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中晶棒加工所產(chǎn)生的研磨液含砷化鎵成分,該組份呈現(xiàn)黑色細(xì)粉狀,易沉淀,經(jīng)攪拌呈懸浮狀態(tài);業(yè)主原設(shè)備工藝采用加藥絮凝后板框壓濾機(jī)處理,因砷化鎵粉體極細(xì),板框壓濾機(jī)屬于粗過濾,不能對(duì)砷化鎵實(shí)現(xiàn)有效截留,導(dǎo)致廢水含砷超標(biāo),不能達(dá)到環(huán)保排放要求。我公司通過多次實(shí)驗(yàn)操作,采用納米級(jí)分離技術(shù),最終順利完成該項(xiàng)目中試工作。

  

我公司于317日,完成最后一次中試數(shù)據(jù)采集工作。通過對(duì)多組物料進(jìn)行定量實(shí)驗(yàn),檢測(cè)清液含砷總量,最終確定檢測(cè)結(jié)果遠(yuǎn)低于環(huán)保排放要求0.5mg/L的設(shè)計(jì)方案,該方案結(jié)果符合業(yè)主預(yù)期,獲得一致認(rèn)可肯定。